5月5日和其光電參加2023碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及其他新型半導(dǎo)體論壇。期間一家做碳化硅長晶爐的企業(yè)負(fù)責(zé)人感嘆:“這次他參加展會最大的收獲是找到了和其光電,在高精度紅外測溫產(chǎn)品供應(yīng)上,國外企業(yè)目前不僅交期保證不了,而且精度滿足不了他們的溫場分布測試要求?!?/p>
參會的大部分企業(yè)都是和其光電的用戶,因?yàn)樵谔蓟栝L晶爐、外延爐、高溫離子注入機(jī)、高溫激活爐、高溫氧化爐、高溫退火爐、立式LPCVD、臥式LPCVD、多腔PVD、刻蝕機(jī)等,凡是高溫的地方,都需要高精度紅外測溫。